真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确空泵运转平稳,振动小。
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