真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
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真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
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真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
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真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。
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