真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
• MICRO二级COAX®真空发生器可能是世界上小的多级真空发生器,质量轻盈,在高速拾取和放置小型物体的应用中,可直接安装在吸点附近,降低损耗。
• MINI二级COAX®真空发生器拥有小巧的安装尺寸,MINI三级COAX®真空发生器则拥有较高的初始真空流量。
• MIDI二级COAX®真空发生器拥有小巧的安装尺寸,MIDI三级COAX®真空发生器则拥有较高的初始真空流量。MIDI真空发生器也具有高效的吹气功能,适用于大体积容器的快速排空。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要**真空设备工作真空度半个到一个数量级。